Оптико-механическое технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства изделий микроэлектроники и МЭМС:
• оборудование для производства фотошаблонов (генератор, контроль, ретушь),
• оборудование для проведения фотолитографии (безмассочное, степперы, контактная печать),
• контрольное и контрольно-измерительное оборудование (критические размеры, контроль микродефектности),
• оборудование для подготовки кристаллов к сборке (зондовый контроль, утонение, разделение),
• сборочное оборудование (для автоматического монтажа кристаллов, монтажа выводов, контроль,
• микроскопия (микроскопы, посты автоматизированного микроконтроля),
• оборудование для проведения испытаний в области (электромагнитной совместимости, электробезопасности, влагозащиты, пожаробезопасности).