Проектирование и поставка оснастки из кварцевого стекла для диффузионных и эпитаксиальных процессов в полупроводниковой промышленности:
- реакторы
- кассеты, лодочки
- испарители, бочки, барботеры
- пластины и диски
- кварцевые трубки, стержни
- высокоточные изделия сложных форм
Изделия производятся из высокочистого кварцевого сырья (содержание SiO2 >99,99%, содержание примесей <30 ppm).
Температура эксплуатации: кратковременная - до 1300°С, длительная - до 1200°С.
Возможна дополнительная обработка изделий:
- электро-вакуумный отжиг
- плазменное напыление
- нанесение отражающих покрытий
Технологии кварцевых кристаллов — это проектирование изделий, разработка новых методов производства и обработки, контроль качества продукции, собственный RnD-центр.