Основные характеристики:

• Увеличение до 2000 крат
• Высокое разрешение до 0,3 мкм
• Визуальный контроль кремниевых пластин, а также компонентов в гель паках
• Стол для пластин 6", 8" или 12"
• Возможность работы в проходящем свете с фотошаблонами